機 材日本フローセル株式会社フローセル流量計フローセル流量計定流量弁 リンセルバルブ特長特長○オリフィスとフロートの組み合わせによるコンパクトな流量計○流体の圧力変動があっても、常に一定の流量を保持○縦配管・横配管いずれにも取付け可能○電気・空気圧などの外部エネルギーを使用しない自力式○水用・AIR用には標準目盛を多数取り揃え短納期を実現○設置後の面倒な流量調整は不要仕様仕様○測 定 流 体 ： 液体、気体○流 体 ： 液体、気体（ねじ込み型は液体のみ）○呼 び 径 ： ねじ接続＝10A（Rc3/8）～100A（Rc4）○接 続 口 径 ： ねじ接続＝15A(Rc1/2)～25A(Rc1) ウエハ接続＝40A～500A フランジ接続 フランジ接続＝15A～500A ストレートタイプ＝15A～150A TSフランジ接続＝15A～300A Y型タイプ＝15A～200A○精 度 ： 水用＝±2.0%FS、その他=±2.5%FS○精 度 ： ±5.0%○最高使用圧力 ： 1.4MPa面積流量計 NSPシリーズ特長仕様○流体・目盛の標準化により短納期を実現○測 定 流 体 ： 液体＝水相当液体○流れ方向は垂直（下→上）、パネル取付（下後→ 気体＝AIR/N2（二重目盛）、 上後）に 加え、独自の設計による水平配管用も CO2*、Ar* （*=Rc1/4-Lタイプのみ） ラインアップ○接 続 口 径 ： Rc1/4、Rc3/8、Rc1/2、Rc3/4、Rc1、○NSP-1G型（フランジ接続）にはPVC製もラインアップ Rc11/4※、Rc11/2※、Rc2※（※＝NSPO-4を除く） NSP-1G型（フランジ接続）＝15A～80A○精 度 ： ±2.0%FS～±8.0%FS（サイズ、流体による）NSP-1（流れ方向：下→上）NSPO-4（流れ方向：下後→上後）垂直配管取付タイプパネル取付タイプNSP-5（流れ方向：左→右）NSP-6（右→左）NSP-7（左→右）NSP-8（右→左）水平配管取付タイプHST（ねじ接続、液体用のみ）HSG（フランジ接続、ストレートタイプ）HYG（フランジ接続、Y型タイプ)FLT-H（ねじ接続）FLW-M（PVC配管用）FLY-H（ウエハ接続）NSP-1G[フランジ接続]（流れ方向：下→上）119
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